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6インチ（JEIDA）シリコンウェハ研究用 [N（100） 1-100Ω ] 片面ミラーDF品 5枚 1箱(5枚入)

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商品説明・詳細
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商品情報

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●サイズ：6インチ（JEIDA）シリコンウェハ
●直径（mm）：150.0±0.2
●ウェハー厚（μm）：625±25
●製造方法：CZ法
●導電型：N型
●面方位：100
●OF方位：110
●抵抗値（Ω・cm）：1～100
●OF長（mm）：47.5±2.5
●面状態：ミラー/エッチド
●パーティクル：≧0.3μm ≦20個
●TTV（μm）：≦25
●数量：5枚
●※特注対応品：
●▼方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
●▼多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。

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