エフコン 流量計 マスフローコントローラー 50LM H2 (1個)(C1050-4S2-50L-H2) 取り寄せ商品

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マスフローコントローラー 50LM H2 (1個) 熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。



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マスフローコントローラー 50LM H2 (1個)。熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。流量(SLM):50ガス:H2流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)再現性:±0.2%FS流量制御範囲:5~100%FS流体:気体使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下応答性:6sec動作圧力範囲:50~300kPa耐圧:1MPa(G)外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理:機械加工仕上げ継手:1/4in.SWL相当入出力:アナログ信号(0~5VDC)バルブ形式:N/O ノーマルオープン駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)サイズ:160×33.6×105mm。
検索キーワード:物理・物性測定器 物性・物理量測定機器 流量計 C10504S250LH2

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